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PI (Physik Instrumente) LP の高速ダイレクトドライブ回転ステージには、ブラシレス、フリクションレス、閉ループのトルクモーターが取り付けられています。このような高速回転テーブルの利用により、高速、高精度、最大の耐用年数という理想的な組み合わせが得られます。

PI は、メカニカルベアリングとエアベアリングを備えた閉ループダイレクトドライブ回転テーブルを提供しています。ステージモデルは薄型で大口径を実現しています。ステージの設計は、高い剛性、速度、耐荷重を実現するために改良されました。

メンテナンスフリーで摩擦のない、寿命に制限のない動作が必要な場合は、エアベアリング回転テーブルをお勧めします。このような超精密高速回転テーブルは、非常に高精度で振動のない動作を実現し、振れ、ぐらつき、偏心誤差が無視できます。

潤滑剤が不足しているため、これらのクリーンルームは一貫性があり、フォトニクス、光学、半導体の製造、テスト、および計測関連プロジェクトにおけるあらゆる高性能計測アプリケーションに最適です。

ベルトドライブ回転ステージやウォームギア駆動回転ステージとは対照的に、高速ダイレクトドライブステージは、ギア、カップリング、駆動ベルトのたわみの遊びを排除し、バックラッシュゼロの正確な回転運動と優れた速度一定性を実現します。ウォームギヤドライブに比べて高速です。

高速回転テーブルは、高性能ファクトリーオートメーション、半導体、レーザー加工のアプリケーションや研究に利用されています。瞬時の計測位置フィードバックを備えたブラシレス高トルクモーターを使用した結果、バックラッシュが完全に除去され、信頼性が大幅に向上しました。

一般に、差異はありません。より大きなモデルが利用可能になると、テーブルがより頻繁に使用されるようになりますが、より小さなサイズのモデルはステージと呼ばれることがよくあります。

最新の直接計測ロータリーエンコーダの利用により、大型ロータリーテーブルプラットフォームを備えた選択されたモデルでは、マイクロラドの 1/100 までのセンサー分解能が利用可能です。これは、PI の EtherCat ベースのコントローラーが提供するような最新の閉ループブラシレスモーターの高い補間係数を利用します。

高いエンコーダ分解能と堅牢なサーボコントローラに応じて、ダイレクトドライブ回転テーブルは優れた速度制御も提供します。これは、高速レーザー加工、インデックス作成、半導体ウェーハ検査などの自動化アプリケーションで必要となります。

ダイレクトドライブ回転ステージの大部分は、垂直および水平に取り付けることができ、回転の 3 つの自由度 (3DOF、ヨー、ピッチ、ロール) すべての組み合わせに対応します。

ダイレクトドライブとダイレクトエンコーダー